Выписать все словосочетания "до недавнего времени клетку изучали с светового микроскопа, увеличение до двух тысяч раз. но после того как был сконструирован электронный микроскоп, позволяющий достигать увеличения до миллиона раз, исследователи начали проникать в тончайшие детали черезвычайно сложного строение клетки."

До недавнего времени, с микроскопа, светового микроскопа, дающего увеличение, до двух тысяч раз, электронный микроскопом, достигать увеличения, до миллиона раз, начали проникать, в тончайшие детали, сложного строения, строения клетки