SiH4+О2 = SiO2+2H2O
условия: 150°C, сгорание на воздухе
H2S + О2 = 2SO2+2H2O
условия: 250-300°C, сгорание на воздухе
SiH4+О2 = SiO2+2H2O
условия: 150°C, сгорание на воздухе
H2S + О2 = 2SO2+2H2O
условия: 250-300°C, сгорание на воздухе