Цель работы: 1. Изучить возможности четырех зондового метода;
2. Определить поверхностное и удельное сопротивление промышленных
полупроводниковых подложек.

Задание:
1. Вычислить среднее значение напряжения между зондами 2 и 3.
2. Рассчитать поверхностное и удельное сопротивление полупроводниковой подложки.

Дано:
Значение тока I ( мкА ) - 100.
Напряжение между зондами: U 23 (мВ) = 10, U 32 (мВ) = 9.
Толщина измеряемой пластины d ( мкм ) - 0,5.
К - 4,53.

Формулы: U ср = ( U 23 +U 32 ) / 2
R пов = K ∙ U ср / I
ρ = R пов ∙ d (Ом∙см).

жанара06    2   09.06.2020 14:40    0