Причиной ионизации молекул газа в пространстве между электродами является наличие электрического поля.При наличии внешнего электрического поля заряженные частицы в газе приобретают дополнительную кинетическую энергию,величина которой пропорциональна напряженности электрического поля и обратно пропорциональна давлению газа.
Ионизация газа может происходить под действием коротковолнового излучения – ультрафиолетовых, рентгеновских и гамма-лучей, а также альфа-, бета- и космических лучей